超高纯金属材料。由有研科技集团有限公司开发,包括铜、银系列(6N)和钴、镍、钛、金、铂系列(5N)等超高纯金属原材料及其溅射靶材生产工艺,实现了集成电路关键原材料的自主供应,打破了国外垄断。
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